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伊利诺伊大学研制出新型三维结构片上电感器

来源:信息发布     作者:信息发布人员     发布时间:2020年04月24日     浏览次数:         

  据美国报道,伊利诺伊大学近日研制出一款新型三维结构片上电感器。该器件由二维纳米薄膜通过自卷曲工艺制得,层与层之间通过绝缘薄膜分隔,呈现多层管状结构。自卷曲工艺能实现致密、均匀的多层结构,借助其工艺特性,仅采用二维技术便实现了器件的三维加工。

  将卷曲结构完全展开时,薄膜长度为1毫米,这使薄膜在气相环境中能够形成更紧密、更均匀的结构,因而该器件能够大幅节省芯片空间。研究人员使用微小的滴管将氧化铁纳米颗粒溶液注入已经卷好的膜中,利用毛细管压力将液滴吸入管心。溶液挥发后,留下的氧化铁纳米颗粒可作为电感器铁芯使用,有利于实现紧凑的磁场分布和高密度的能量储存。

  该器件产生的磁感应强度可达到数百到数千毫特斯拉,具备高频率,低损耗的特性,有望在电力电子、磁共振成像和通信等领域获得应用。

  (摘编自《国防科技信息网》)